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產(chǎn)品分類products
質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號： G300C
所屬分類：G300C質(zhì)量流量控制器
更新時間：2024-07-01
瀏覽次數(shù)：8608
簡要描述：G300系列產(chǎn)品采用層流壓差法測量流量，具有高精度、高分辨率、高重復性和高可靠性等特點。產(chǎn)品內(nèi)置多種氣體和混合氣體，采用模擬數(shù)字等多種控制方式。
詳細說明：
G300C 質(zhì)量流量控制器特點
? 高精度、高分辨率控制
? 低功率，功率＜2W
? 集成 20 種基礎氣體種類
? 可自定義 10 種混合氣體
? 控制參數(shù)自整定功能
? 數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式
? 寬流量量程范圍
? 無需預熱
? 無安裝方向限制
? 具有高重復性和高可靠性
? 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快
? 自帶溫度補償，補償范圍 0-50℃
? 內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性
? 小封裝尺寸 量程及精度簡介
? 可用量程：
? 最大 0-50slpm
? 最小 0-1sccm
? 常備量程請參考選型表
? 量程比：1000:1
? 滿量程精度：±0.2%
? 讀取精度：±0.8%
? 可重復性：±0.2%FS
? 響應時間：＜100ms（調(diào)節(jié) PID 控制參數(shù)可縮 短響應時間）
數(shù)字式設計簡介 G300C 系列質(zhì)量流量控制器標配高精度傳 感器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測量及控制所 需的所有基本功能。G300C 系列采用標準的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高 可擴展至 255 臺設備同時使用。
應用領(lǐng)域
? 氣相和液相色譜儀
? 半導體工藝
? 環(huán)境監(jiān)測設備
? 微反應裝置及材料制備實驗裝置（CVD）
? 氣體發(fā)生器
? 配氣混氣系統(tǒng)
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